10吨/小时超纯水设备

超纯水概念

超纯水是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，其电阻率大于18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm极限值(25℃)。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。

工艺流程

（1）原水箱→原水泵→砂滤器→炭滤器→自动加药阻垢装置→保安过滤器→双级反渗透膜组→RO纯水箱→RO纯水泵→紫外杀菌器→精密过滤器→EDI装置→EDI氮封水箱→EDI纯水泵→ TOC降解仪→核级抛光混床→微孔过滤器→用水点  

（2）原水箱→原水泵→超滤装置→超滤水箱→双级反渗透膜组→RO纯水箱→RO纯水泵→紫外杀菌器→精密过滤器→EDI装置→EDI氮封水箱→EDI纯水泵→ TOC降解仪→核级抛光混床→微孔过滤器→用水点  

特别说明：

超纯水在制备超纯水后，要求输送管道不能有析出物对超纯水形成二次污染，否则将导致被清洗的芯片或电子设备受到污染而报废。金属管道不可避免有金属离子析出，只有塑料管道较少（塑料材质管道需要控制TOC析出）。此类管道大多是安装在纯水车间的纯水设备及纯水车间到各用水车间点位上，连接方式也是粘接，需要clean-PVC专用胶水。在超纯水系统中，一般终端管道采用clean-PVC。